TY  - GEN
AU  - Nanofabrication handbook
AU  - Cabrini, Stefano ed.
AU  - Kawate, Satoshi ed.
TI  - Nanofabrication handbook
SN  - 9781420090529
U1  - 620.115 
PY  - 2012///
CY  - Boca Raton
PB  - CRC Press
KW  - Physics
ER  -